BROOKS 美国布鲁克斯

蒸汽输送模块汽化产品 BROOKS

沉积薄膜，以增强热、光或硬度特性
水的汽化/加湿汽化液态烃化学汽相沉积
汽化单体适用于真空高分子膜沉积产生校准蒸汽
产品描述：BROOKS产品美国布鲁克斯质量流量计 BROOKS转子流量计 BROOKS浮子流量计 BROOKS质量流量控制器/计 BROOKS压力控制器压力变送器 BROOKSLC椭圆齿轮流量计
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产品描述服务承诺订货流程温馨提示

等离子体刻蚀和光刻胶剥离设备的蒸汽传输
超高纯去离子水汽化应用
仅限于副大气压工艺腔室
产品类型 DI Water Vapor Delivery Module
区别
High Purity DIW Vapor Delivery
Highest Flow Accuracy
Compact Design
EtherCAT Digital Communications
Enhance User Interface
蒸发方式 Vapor Draw
流体类型 DI Water
蒸汽容量
3000 sccm (DI Water)
最大压力 200 Torr