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HRZ SMC产品 深冷器/高性能变频型

HRZ SMC产品 深冷器/高性能变频型

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深冷器/高性能变频型 HRZ

・在HRZ系列的高性能基础上,采用了DC变频压缩机,实现了节能。
・温度范围和冷却能力范围大。
・用于刷新循环块的半导体装置等,可平缓地对应过程条件的变化。
・符合UL, SEMI规格及CE标识。

系列 设定温度
范围 冷却能力 温度
稳定性 冷却方式 循环液
HRZ -20~90℃
10~60℃ 10kW ±0.1℃ 水冷冷冻式 氟化液
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(60%)

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