干法镀膜-质量流量控制器-专注微流体控制技术

目前全球范围内最大的气体或液体流量控制器的生产制造商之一，包括模拟式、数字式、高温质量流量控制，以及搭配有液体源汽化控制及传输系统。

提供的临界控制系统成功应用于镀膜制造产线。我们提供广泛综合的液体控制及过程监控已提高产量，加大生产力以及镀膜工艺的综合价值。

拥有世界上最小的四极质谱仪，相较于其他更大型的传统系统，能有效应用于高压环境（1 Pa）。它并不需要额外添加泵送设备。