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FPD工艺-质量流量控制器-专注微流体控制技术

拥有多种分析、控制、评估技术以应对半导体制造业对工艺规格的严格要求。

充分利用自身在FPD领域的科技。这些科技提供给不同工艺制造过程中的技术支持，包括气体和液体药物成分，光掩模上颗粒物监测，薄膜监测。这些技术同样可以应用于高性能分析及控制设备以支持PDPs的研发，有机EL，FEDs以及FPD领域的多样化的发展。

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