常见问题

质量流量控制器在高压条件下如何使用?

质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 第一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 第二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 第三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。

上一个：质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?下一个：使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品?