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质量流量控制器成为新一代新型仪表-专注微流体控制技术

质量流量控制器成为新一代新型仪表
质量流量控制器不但具有质量流量计的功能，更重要的是，质量流量控制器能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，质量流量控制器自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。例如，后面讲到的测量小孔直径﹑阀门泄漏量﹑工件(如毛细管)流通量等。质量流量控制器可以将流量测量值以标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示、累积流量自动计量、数据自动记录、计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。质量流量控制器能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。质量流量控制器有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 质量流量控制器可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；质量流量控制器有很宽的流量范围，我们的产品zui小流量范围可达0～5 sccm，zui大流量范围可达0～200 slm。现如今质量流量控制器已得到了越来越广泛的应用，成为新一代新型仪表。

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