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气体质量流量计种类-专注微流体控制技术

采用的测流压差测量技术是多种流量测量技术之一，本文将对目前主要的气体流量测量方法作一简单介绍。

层流式质量流量计
层流式质量流量计利用层流元件内两端压力差来测量流体的质量流量。处于湍流状态的流体经过层流元件时，通过缩小层流片间距及改变流体速度使之作层流运动，压差传感器测得层流片内两端压力差，由此便可通过泊肃叶定律计算得出体积流量，再由已知温度和压力下的修正密度换算成质量流量。
Alcat 生产的一系列气体质量流量计&质量流量控制器、水流量计&水流量控制器均采用层流压差技术。
热式质量流量计
热式流量计通过热量变化来测量流体的流量，通常有两种方法。*种方法是测量保持加热元件温度不变所需要的电流，流体流经加热元件时，与其相接触的气体微粒将带走其表面热量，当流量增大时，所需要的保持加热元件温度不变的电流也越大，该电流与质量流量成正比。另一种方法则是测量加热元件或火线两端的温度，流体通过加热元件时会带走其表面热量，所以加热元件前端的温度要高于后端，其两端温差与流经流体的质量流量成比例。
科里奥利质量流量计
科里奥利流量计利用科里奥利效应来测量流体的质量流量。使流体通过一根或两根并排U形管，振动U形管，作用于流体微粒上的科里奥利效应力与振动及流动方向垂直。当管子向上振动时作用于向下，但由于流体溢出U形管其作用力向上，于是产生了扭矩；管子向下振动时则反之。U形管内的扭矩与通过流体的质量流量直接成正比。
超声波质量流量计
超声波流量计利用声波来测量流体的流量。多普勒流量计将超声波信号传送到流体，经流体内颗粒物及气泡反射后，通过测量发射波与接收波之间的频率变化可测得流体的速度。飞行时间质量流量计就是利用发射波与接收波之间的频率变化来测量流体的速度。
变截面质量流量计
变截面质量流量计或转子流量计通过管道及悬浮物测量流体的流量。流体通过管道时，悬浮物开始上升，当浮力与重力达到平衡时趋于静止，通过测量此时悬浮物在管道中所处的高度来计算质量流量。

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