真空挡板阀的安装位置介绍说明

-手动驱动：任意-气动驱动：恣意

-电磁驱动：任意(波纹管密封);密封面朝向真空(氟胶圈密封)

翻开时阀板上的压差：

≤1.2×105 Pa恣意方向

阀体和阀座漏率：≤1.3×10-7Pa·L·s-1

主张初次维修前循环次数：　200，000次

阀体烘烤温度：≤150℃